N^+注入金属薄膜晶体生长的实验研究

Experimental Study on Crystal Growth by N^+ Implanted Metal Films

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摘要研究沉积在相同异反衬底NaCl上的Ag、Au、Al三种金属薄膜，在N＋注入后晶体生长情况和N＋在薄膜中的分布情况．探讨晶体生长与注入条件的关系． The crystal growth was studied when N+ was implanted into Ag,Au andAl films on substrate NaCl. N+ distribution in Ag film and the relation between crystalgrowth and implantation condition were investigated.

作者徐送宁孙树滋

机构地区沈阳工业学院基础课部东北大学

出处《沈阳工业学院学报》 1999年第4期26-29,共4页 Journal of Shenyang Institute of Technology

关键词离子注入注入剂量衬底晶体生长金属薄膜 ion implantation, dose, substrate, crystal growth

分类号 TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]

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