摘要
以原子力显微镜 (AFM)作为加工工具 ,基于金刚石针尖对单晶硅进行了纳米加工实验 ,对纳米加工区域特性、材料在不同垂直载荷下的去除机理及切屑形成特征 ,进行了系统的研究和分析 ,提出了一种在纳米尺度下研究加工机理的新方法。在此基础上 ,应用有限元方法 (FEM )对AFM纳米加工中存在于金刚石针尖和被加工材料之间的作用机制进行了计算仿真。
The nano-machining of monocrystalline silicon by AFM with the diamond tip as machining tool is realized. The characteristics of nano-machining surface, the material removal mechanism under different vertical loads and the features of swarf formation are systematically analyzed. A new method for studying the machining mechanism in nanometer scale is presented. And the reaction mechanism between diamond tip and machined material in AFM Nano-machining is computer-simulated by Finite Element Method.
出处
《微细加工技术》
2001年第2期61-66,共6页
Microfabrication Technology
基金
国家自然科学基金重点资助项目! (59835180 )
哈尔滨工业大学回国人员科学研究基金资助项目
