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微尺度构件公差特性研究 被引量:3

Study on the tolerance property of micro-size components
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摘要 公差反映功能要求和制造要求 ,是产品实现批量生产和商品化的前提 .在介绍微构件制造特点及功能特征的基础上 ,描述了微尺寸和功能公差的基本概念 ,分析了微尺寸和制造误差的关系 ,提出了基于微构件功能要求的参数化评定和微构件公差的建立方法 . With the advanced research and application of Microelectromechanical System(MEMS),it has been more and more important to evaluate the micro component error and its precision.The basic concept of micro?size and functional tolerance is defined,and the relationship of micro?machining error and micro?size is explored.The tolerance establishment methods of micro?compcnent are proposed as well.
出处 《焦作工学院学报》 CAS 2001年第2期109-112,共4页 Journal of Jiaozuo Institute of Technology(Natural Science)
基金 国家自然科学基金(59975034)
关键词 微构件 公差技术 精度理论 micro-component tolerance technique precision theory
  • 相关文献

参考文献2

二级参考文献3

共引文献14

同被引文献13

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引证文献3

二级引证文献4

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