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半导体材料发展前景展望

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摘要 这是一篇纪念演说,该演说简述了半导体材料飞速发展历史,论述了进一步发展半导体必须解决的三个课题:原子级控制、突破性新器件(量子化功能器件)和系统材料科学。介绍了日本电气公司(NEC)为迎接21世纪部署的以半导体材料为中心的材料基础研究工作。
机构地区 日本电气社
出处 《电子材料(机电部)》 1991年第4期6-10,19,共6页
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