摘要
在光频光热调制半导体激光正弦相位调制干涉仪的基础上 ,提出了一种扩大其测量范围的方法 ,使得在保持纳米精度的前提下 ,测量范围由半个波长扩大为 12 5 5 6 μm ,并讨论了进一步扩大测量范围的可能性。
A new method is proposed to enlarge the measurement range of the LD-SPM interferometer with a photothermal wavelength modulation. Using this method, the measurement range is enlarged from half wavelength to 125.56 μm and the measurement accuracy is 1.2 nm. The possibility of further enlarging the measurement range is discussed.
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第5期455-458,共4页
Chinese Journal of Lasers
基金
国家自然科学基金!(699780 2 4)
中国科学院百人计划基金
上海市应用材料研究与发展基金资助项目