硅上异质外延GaAs的进展

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摘要本文概述了硅上异质外延GaAs在生长工艺、生长机理以及器件、电路应用方面的最近进展。

作者齐学参

出处《半导体情报》 1989年第4期23-33,共11页 Semiconductor Information

关键词硅上异质延延砷化镓半导体材料

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半导体情报

1989年第4期

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