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最佳 干膜抗蚀剂 厚度
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摘要
该文章成文于多年以前,但其中所述的实验方法及结论对于如何选用内层蚀刻干膜仍具有指导意义。该论文中虽仅以干膜作为研究对象,但实际上,不论是干膜还是湿膜,阻剂的厚度越薄,开路的缺点率就会越高。
作者
G.Sidney Cox
Richard A.Olson
陈克奎
机构地区
杜邦美国
出处
《印制电路信息》
2000年第6期30-32,共3页
Printed Circuit Information
关键词
干膜抗蚀剂
厚度
印制电路板
分类号
TN41 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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