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利用MEMS技术制作MMIC的三维电容电感和滤波器被引量：3

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摘要随着信息时代的发展,对于无线通信设备中的一些外接的分立元件的微型化、低功耗及可携带性提出了更高的要求.现在通常采用单片微波集成电路(MMIC)技术来制作微波电路器件.

作者张海涛齐臣杰刘理天

机构地区清华大学微电子研究所

出处《世界电子元器件》 2001年第5期58-60,共3页 Global Electronics China

关键词 MEMS技术微波集成电路三维电容电感滤波器

分类号 TN454 [电子电信—微电子学与固体电子学] TN713 [电子电信—电路与系统]

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世界电子元器件

2001年第5期

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