半导体用化学药品

最近各公司都已进入批量生产4M DRAM(动态随机存取存储器)和1MSRAM(静态随机存取存储器)等集成度高的大规模集成电路阶段,其图型尺寸约为0.8μm。随着半导体器件的技术革新,对半导体工艺用化学药品的质量提高和稳定,以及稳定供货方面的要求日益提高。因此,各半导体用化学药品的生产厂家为满足半导体生产厂家的需要,正不断努力,以提供高质量的药品,并开发容器和药品的自动供给装置。