CAMEBAX-MB1型电子探针扫描系统故障修复

Troubleshooting of scanning system of CAMEBAX-MB1 electron probe

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摘要对CAMEBAX -MB1型电子探针的扫描系统进行了检修 ,分析了故障原因 ,排除了故障 ,使扫描系统完全恢复正常 ,达到了原设计的技术指标。

作者王海瑛

机构地区上海五钢集团特种冶金公司

出处《分析仪器》 CAS 2001年第2期47-49,共3页 Analytical Instrumentation

关键词电子探针扫描系统电子光学故障修复 X射线光谱仪扫描电子显微镜

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分析仪器

2001年第2期

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