摘要
采用 MOD方法制得了具有纯钙钛矿结构和良好铁电性能的 PZT薄膜 ,典型 Pr、Ps、Ec值分别为 2 7μC/ cm2、4 4 μC/ cm2、10 .9k V/ mm,进一步分析表明 ,制备工艺对薄膜的析晶状态、晶粒尺寸和铁电性能有重大影响 ,析晶充分和大晶粒尺寸有利于获得较大的
The MOD method was employed to prepare PZT thin film with pure perovskite phase and good ferroelectric properties. The typical values of Pr、Ps、Ec were 27 μC/cm 2、44 μC/cm 2、10.9 kV/mm respectively. The further analysis indicated that sufficient crystallization and large grain size were benefical to obtain large P r values.
出处
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第2期234-238,共5页
Research & Progress of SSE
基金
国家自然科学基金项目! (6 9876 0 0 8)
AM基金项目
"86 3"项目资助
