Si_3N_4陶瓷运动件的磨削

工程陶瓷具有强度高、耐磨性好、耐热、耐蚀、热膨胀系数小等一系列优良性能,已作为结构材料在许多方面得到应用,振动台中采用Si_3N_4陶瓷整体运动件就是其中一例。运动件是高精度振动台中最基本、最重要的部件,采用Si_3N_4陶瓷整体结构的突出优点之一是使振动台的固有频率,从目前的5KHz提高到12.9KHz。本文介绍了Si_3N_4陶瓷整体结构运动件的平面和外圆磨削加工工艺。