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掺杂对SnO_2薄膜性能影响研究 被引量:2

Studying of the Influence of Dopant on the SnO_2 Films
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摘要 SnO2薄膜具有良好的光学特性,优良的气敏特性越来越受到人们的普遍重视。本文就各种掺杂对SnO2薄膜性能的影响进行了综合评述,并探讨了掺杂作用机理。 Thin films of tin dioxide (SnO2) are very high in performance as transparent conducting coating These films possess high visible transparency and high electrical conductivity. In this article, the influence of dopant on the SnO2 films is studied, the mechanism of doping is studied also.
出处 《北京建筑工程学院学报》 2001年第2期70-73,共4页 Journal of Beijing Institute of Civil Engineering and Architecture
基金 北京建筑工程学院基础科学基金
关键词 二氧化锡膜 掺杂 性能 薄膜 SnO2 films doping property
  • 相关文献

参考文献3

二级参考文献3

  • 1徐毓龙.氧化物与化合物半导体基础[M]西安电子科技大学出版社,1991.
  • 2莫以豪.半导体陶瓷及其敏感元件[M]上海科学技术出版社,1983.
  • 3沈瑜生,张云昌.气敏元件初探[J]半导体学报,1984(03).

共引文献13

同被引文献19

引证文献2

二级引证文献1

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