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ZnO/TiO_2多层薄膜氨气敏光学特性研究 被引量:18

Study on ammonia-sensitive optical property of ZnO/TiO_2 multi-layer thin film
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摘要 介绍用S G法制备了ZnO/TiO2 多层薄膜的方法 ,研究了在几种还原性气体中的气敏透射光谱 ,发现其对氨气具有优良的选择性 ,且其光学透过率在一定浓度范围内随氨蒸气浓度增加而显著地单调上升 ,敏感波段扩展到整个可见光区域。这是一种有实用价值的气敏光纤传感材料。 In the paper, the preparation of ZnO/TiO2 multi-layer film with S-G method is introduced and the gas sensitive optical property of the film is studied. The film is very sensitive to ammonia. It's light transmittance increases considerably and monotonously as the gas concentration increases. The sensitive wavelength band extends to full visible spectrum. This material is of great practical value for gas sensing fiber. The gas sensitive mechanism and high selectivity mechanism are also discussed.
机构地区 中山大学物理系
出处 《激光技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期209-213,共5页 Laser Technology
关键词 S-G法 多层薄薄 气敏光纤传感材料 气敏光学特性 传感器 氧化锌 二氧化钛 Ammonia Composition effects Light transmission Optical fibers Optical properties Thin films Titanium dioxide Zinc oxide
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