摘要
分压强质谱计校准装置用于质谱计的校准。本文介绍了分压强质谱计校准装置的结构、工作原理及分压强测量方法 ,并给出了分压强测量的不确定度分析。
A novel system used to calibrate partial pressure mass spectrometer was developed.The operation principle,the structure and the measurement technique,and the error analysis of the system were discussed.
出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2001年第3期237-241,共5页
Vacuum Science and Technology
关键词
分压强
测量
质谱计
校准
校准装置
Partial pressure,Measurement,Mass spectrometer,Calibration