摘要
分析了纵弯式压电微电机的驱动机理 ,提出了电机驱动臂的设计方法。研制了直径为 5mm的纵弯式压电微电机并进行了实验研究。
The driving mechanism of a micro motor is analyzed and the design method of the driving cantilever is presented. A 5mm of diameter piezoelectric micro motor driven by longitudinal-transverse vibration cantilevers is developed and experimental researches are carried out on it.
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第6期704-706,共3页
China Mechanical Engineering
基金
国家 8 6 3高技术研究发展计划资助项目 (86 3-5 12 -96 -0 8)
国家自然科学基金资助项目 (5 9875 0 0 9)
辽宁省博士启动基金资助项
关键词
纵弯式
压电微电机
驱动机理
设计规则
longitudinal-transverse vibration piezoelectric motor driving mechanism design rule