f秒激光的制造技术

Manufacturing Technique of the Femtosecond Pulse Laser

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摘要本文介绍f秒 (fs) The character of femtosecond pulse laser and its manufacturing technique are reported.

作者贾正根

机构地区南京电子器件研究所

出处《微电子技术》 2001年第3期34-37,共4页 Microelectronic Technology

关键词 f秒激光非线性光学微机械制造技术多光子吸收 Femtosecond pulse laser Ultrahigh power Nonlinear optical Micromachining

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微电子技术

2001年第3期

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