摘要
制备了一种以三层聚合物为波导材料的 Mach- Zehnder型电光调制器 ,其中芯层为新型可交联极化聚胺脂电光功能材料 .主要制备工艺为 :旋涂制备波导薄膜、电晕极化、光刻和氧反应离子刻蚀 .以 1.3μm和 1.5 5μm半导体激光器为光源 ,以光纤耦合输入脊波导调制器 ,从输出端得到很好单模近场图 ,其中从 Y型两分支波导输出的光强基本相同 .同时在示波器中得到清晰的调制信号 .
A Mach-Zehnder(MZ) electro-optic(EO) modulator are real iz ed,with three optical layers as polymer materials.The functional layer is the co rona poled crosslinkable polyurethane.The ridge waveguide is fabricated by using the spin-coating,poling,photolithography and oxygen reactive ion etching(RIE) techniques.The mode and the modulation properties of these devices are demonstra ted in a micron control system,while the light source works at the wavelength of 1 31 or 1 55 micron.
基金
国家"八六三"计划资助项目 (合同号 :715 -0 0 2 -0 0 3 0 )
