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High Performance VHF Power VDMOSFETs for Low Voltage Applications

低压应用的高性能甚高频功率VDMOSFETs(英文)
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摘要 A high performance VHF power VDMOSFET,ap plying to the mobile communications,is developed,which can deliver an output power of 12W with the drain efficiency of 70% as well as the gain of 12dB at a low supply voltage of 12V and 175MHz.It is fabricated by using the terraced gat e structure and refractory molybdenum (Mo) gate technology. 采用梯形栅结构和难熔金属钼栅工艺 ,研制出了高性能 ,低电压工作 ,适用于移动通信的甚高频功率VDMOS场效应晶体管 .该器件在 175 MHz、 12 V低电压工作条件下 ,输出功率为 12 W,漏极效率为 70 % ,功率增益为 12 d
出处 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第8期975-978,共4页 半导体学报(英文版)
关键词 low voltage terraced gate structure Mo gate te chnology VHF power VDMOSFET 梯形栅结构 钼栅工艺 甚高频功率VDMOSFET 场效应晶体管
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