俄歇电子能谱仪在失效分析中的应用被引量：1

Applying the auger electron spectroscopy apparatus to failure analysis

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摘要介绍俄歇电子能谱仪的测试原理 ,举例说明在失效分析中的应用。 Introduce the measuring principle of auger electron spectroscopy apparatus.applying the apparatus to failure analysis is illustrated.

作者盛国裕杨其华俞杭芳

出处《机械工艺师》 CSCD 北大核心 2001年第8期49-51,共3页 Machinery Manufacturing Engineer

关键词失效分析俄歇电子能谱仪表面成分分析 Auger electron spectroscopy apparatus Failure analysis

分类号 TB302 [一般工业技术—材料科学与工程] TH838.2 [机械工程—精密仪器及机械]

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