摘要
未来科研卫星的质量，功耗和体积均要大大减少，这一需求促使NASA致力于微电子机－电系统（MEMS）这一新技术的开发。MEMS除重量轻，结构紧凑，功耗小这些优点外，它还有许多适合于空间应用的优势，最主要的是MEMS采用高可靠性的固态集成器件，因此其鲁棒性好，适应能力强，此外，将多个相同的MEMS装置组成阵列便于构成超大规模集成的分布式容错结构。这些芯片级的微电子机－电系统在过去10年中已进入研究阶段，最近在汽车和生物医学传感器等地面应用领域已转入商用开发阶段。尽管MEMS技术在空间应用领域前途远大，但目前尚未达到其成熟阶段，要使MEMS装置走出实验进入空间环境实际应用，还需进行大量的工作，虽然空间应用可依靠其它工业部门所取得的技术进步作为杠杆，然而要使这些MEMS装置达到上天的水平，还要做大量的技术突破工作。这些技术突破主要是针对空间性能，可靠性和运行性能以及空间结构和飞行鉴定方法等方面。本文旨在明确能使MEMS真正武装空间的这些技术难题，文中还介绍了JPL为突破这些关键技术而进行的研究和开发工作。
