自停止腐蚀工艺的观察
Study on the technology of self-stop corrosion
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第4期408-409,共2页
Journal of Chinese Electron Microscopy Society
参考文献2
-
1韩明.电容型微差压伺服传感器设计和制作:硕士论文[M].上海:中国科学院上海冶金研究所,2000..
-
2韩明,硕士论文,2000年
-
1谢国章.决定未来竞争的关键技术——微系统技术[J].今日科技,1993(10):7-7.
-
2微带天线[J].零八一科技,2003(1):24-24.
-
3朱静远,茅盘松.多晶硅微机械薄膜形成技术[J].传感器技术,1993(6):38-39.
-
4辛艳,粟欣.我国及全球B3G/4G研究及标准化进展[J].移动通信,2006,30(10):13-17. 被引量:5
-
5Wei Sun,Feng Sun.Novel approach to GPS/SINS integration for IMU alignment[J].Journal of Systems Engineering and Electronics,2011,22(3):513-518. 被引量:2
-
6陈罡.12MHz微型石英谐振器的研制[J].压电晶体技术,1994(2):24-27.
-
7蔡梅妮,车录锋,林友玲,周晓峰,黎晓林,吴健.三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装[J].半导体技术,2012,37(10):790-794.
-
8欧益宏,张正璠,黄路,杨忠.大规模集成电路工艺中“鸟头”平坦化的研究[J].微电子学,2002,32(3):192-194. 被引量:1
-
9BSG推出Reveel耳机信号还原器[J].高保真音响,2014(4):105-105.
-
10姚飞,成步文,薛春来,王启明.过腐蚀自对准离子注入法制备SiGe HBT[J].Journal of Semiconductors,2005,26(z1):117-120.