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表面技术在电子器件生产中的应用

Application of Surface Technologies in the Production of Electronic Appliance
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摘要 综述了电子器件生产中广泛采用的几种表面技术 ,评价了其优缺点 ,并对表面技术在电子薄膜中的研究与应用作了简要概述 。 Several technologies of surface treatment which are extensively applied in the area of electronic appliance are sumarized.their advantage and shortcoming are enalmeted.The trend in surface engineering is also suggested
作者 张博 朱有兰
出处 《广东工业大学学报》 CAS 2001年第3期67-71,共5页 Journal of Guangdong University of Technology
关键词 表面技术 电子薄膜 溅射 封装 气相沉积 电子器件 微电子工业 Surface technology electronic thin films splash packaging evaporating deposite
  • 相关文献

参考文献12

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二级参考文献1

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