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微机械数模转换器的原理与应用

Principle and Applications of Microelectromechanical Digital-to-Analog Converters
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摘要 微机械数模转换器是一种用数字信号精确控制微执行器输出量的新方法 ,本文介绍了微机械数模转换器的概念 ,分析了“C- 2 C梯型网络”、“逐级衰减”两种实现方案的基本原理和结构 ,对它们的误差、最大分辨率等特性进行了分析。 Microelectromechanical digital to analog converter (DAC), converting digital voltage inputs to analog displacements of forces, is an emerging approach to controlling precisely the output of microactuators using digital signals. The concept of microelectromechanical DAC is illustrated by introducing two structures compared with R 2R resistor network and attenuation circuit. The error and resolution of the two principles are analyzed in this article. Several prospective applications and the development of the microelectromechanical DAC are predicted.
出处 《电子器件》 CAS 2001年第3期178-183,共6页 Chinese Journal of Electron Devices
基金 国家自然科学基金 ( 6 0 0 76 0 2 8) 高等学校博士点专项基金 ( 2 0 0 0 0 2 86 2 0 )资助项目
关键词 数模转换器 微电子机械系统 微执行器 精密控制 Digital to analog converter MEMS microactuator precise control.
  • 相关文献

参考文献4

  • 1匡一宁,黄庆安.基于热膨胀效应的微执行器进展[J].电子器件,1999,22(3):162-170. 被引量:12
  • 2Huang Q A,Sensors Actuators,2000年,80卷,267页
  • 3Yeh R,Proc 10th Int Conf Sensors Actuators,1999年,998页
  • 4汪庆宝,超大规模集成电路设计技术,1996年

共引文献11

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