厚膜微带制作技术

根据厚膜工艺的特点和微波电路的要求，采用了厚膜工艺和薄膜工艺相结合的方法，论述了制作厚膜微带电路的工艺技术途径，并对其膜层的致密性作了进一步的研究，研制的样品在11GHz下进行微波性能测试，表现出良好的特性。