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旋转靶的修复使用
被引量:
1
Repair and Usage of Rotating Target
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摘要
通过修复报废四年多的旋转靶,对旋转靶的工作原理、使用技巧和其在新产品开发中的应用,做了细致的分析和研究。
作者
郭明
机构地区
洛阳浮法玻璃集团晶润公司
出处
《玻璃》
2001年第2期38-39,共2页
Glass
关键词
镀膜玻璃
磁控溅射
旋转靶
修复
使用
分类号
TQ171.5 [化学工程—玻璃工业]
TQ171.724 [化学工程—玻璃工业]
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