容积式真空泵真空度测试装置的技术探讨
摘要
本文提出了替代压缩式真空计测量容积式真空泵极限真空度的必要条件,并研制一种新颖的能完全替代压缩式真空计的测试仪器以及相关的装置和测试方法。
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