数显卡尺容栅定栅母板的研制
被引量：1
Stator's Motherboard Development of the Numerical Display Calipper Rule of Capacitance Grating
摘要
介绍了容栅定栅母板的光刻原理、光刻设备及工艺流程。
出处
《机械工程师》
2001年第9期56-57,共2页
Mechanical Engineer
同被引文献4
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