摘要
硅微机械的出现几乎对科学技术的每一领域都有影响.在化学、汽车、航空、移动通信和光通信等工业部门,硅微机械为许多问题提供了解决方案.本文介绍了硅微机械的概念、如何构造硅微机械以及它们使光波网络发生巨大变革的潜力.许多硅微机械装置,如光开关、可调衰减器、有源均衡器、分插复用器、光交叉连接器、增益-倾斜均衡器、数据发送器等都已广泛地应用于现代光通信网络.本文描述了这些器件的应用,以及开发这一新技术的数10亿美元市场所面临的挑战.
出处
《光机电信息》
2001年第7期44-46,共3页
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