等离子体增强化学蒸气沉积技术在软包装膜阻透层涂覆中的应用

应用于食品和医药包装的透明高阻透性涂层已颇受关注。近来，利用反应蒸发和等离子体增强化学蒸气沉积（PECVD）技术在聚合物薄膜上沉积SiOx和AIOx等金属氧化物透明阻逐层的研究活动很多。美国BOC涂覆技术公司的低频、低温PECVD技术，已从一研究开发的涂覆机阶段，成功地进展为三套有生产规模的涂覆装置，其QLF①透明阻透涂覆层目前进入商品化。