摘要
概述了微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的特点、理论和技术基础。详细介绍了微型传感器、微型执行器、微型光机电系统（ＭＯＥＭＳ）、微型生物化学芯片、微型机器人、微型飞行器、微型动力系统和纳米电子机械系统等主要ＭＥＭＳ器件和系统及这些器件在个人运载工具导航、系统监控与故障预防、环境感知、小型分析仪、生物医疗器械和航空航天等领域的应用。最后简述了ＭＥＭＳ技术的发展趋势与我国的发展现状。
The features, theory basis and technology foundation of microelectromechanical system (MEMS) are reviewed. Several key MEMS devices and systems and their applications are also described. Finally the trends of MEMS are predicted and current status in China are presented.
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第8期1-5,共5页
Semiconductor Technology
关键词
传感器
微电子机械系统
执行器
MEMS
theory basis
technology foundation
MEMS devices
MEMS application
