脉冲电源在局部高速喷镀银工艺中的研究应用
被引量：2
摘要
本文主要研究内容为脉冲电参数对高速喷镀银电沉积过程及镀层性质的影响
出处
《微电子技术》
2001年第4期58-59,共2页
Microelectronic Technology
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