CVD金刚石膜抛光新技术被引量：5

The New Technology of Polishing CVD Diamond Film

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摘要提出了一种新的 CVD金刚石膜抛光技术。金刚石膜表面被预先涂覆一层导电金属 ,然后采用电蚀方法对该表面进行加工 ,使金刚石膜突起的尖峰被迅速去除。加工中金刚石表面的石墨化使电蚀加工得以不断延续。采用 CVD金刚石膜抛光新技术 ,可以高效率地完成对

作者郭钟宁王成勇刘晓宁匡同春

机构地区广东工业大学

出处《新技术新工艺》北大核心 2001年第6期41-43,共3页 New Technology & New Process

基金国家自然科学基金广东省自然科学基金项目

关键词金刚石膜抛光电蚀加工 CAD CVD diamond film,polishing,electro discharge machining

分类号 TG175 [金属学及工艺—金属表面处理] TG580.692 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]

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