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集成光学超净室环境保持及专业设备维护保养
被引量：
4
Envirenment maintenmace of a superclean room for integrated optics and service of the special equipment
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摘要
叙述环境及洁净度对集成光学专业超净室的重要性，及超净室内专业设备的常规维护保养方法。
作者
郭亚明
机构地区
北京航空航天大学五研
出处
《中国设备工程》
2001年第8期24-25,共2页
China Plant Engineering
关键词
集成光学
超净室
光刻
镀膜
研磨
设备维护
分类号
TN491 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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