单频激光干涉仪条纹调节机构和光栅莫尔条纹调节机构介绍

本文叙述了一米长光栅刻划机中激光干涉仪双光楔条纹调节机构、便携式单频激光干涉仪中弹性浮动条纹调节机构和几种光栅莫尔条纹调节机构的设计原理和使用情况,这些机构的应用,对单频激光干涉仪和光栅传感器的研制有较大的作用。