500mm衍射光栅刻划机的关键机械结构

光谱衍射光栅是一种光学分光元件,广泛应用于各类光谱仪器之中,通过它的精确的分光性能,所得光谱能定性定量地反映出所分析材料的成份和含量,成为光谱仪器中的核心元件,由于光波的波长很短,光谱分析的精度很高,对光谱光栅精度的要求也很高,一般在0.01μm量级。