直流等离子CVD法合成金刚石体系中的等离子诊断

实际合成金刚石状态下的等离子诊断对探讨低压合成金刚石的机理具有重要的意义。本文首先介绍笔者等人提出的直流等离子CVD法低压合成金刚石的情况。然后,将兰米尔单探针法、发射光谱分析及金刚石合成时的等离子状态的结果结合起来,探讨金刚石的低压合成机理。