摘要
PSD是非接触式位置检测中的一种理想的器件 ,本文主要研究 PSD相位法定位实现的原理及设计思路。
PSD(Position Sensitive Detector) is a useful component in un-contact measurement of position detection. This paper mainly introduces the principle and design thought of PSD phase positioning orientation.
出处
《电子工程师》
2001年第11期42-44,共3页
Electronic Engineer
关键词
光斑定位
横向光电效应
位置敏感器件
PSD(Position Sensitive Detector), lateral photoeffect, orientation technology, phase positioning technology