光栅纳米测量技术及应用

本文简要介绍了光栅纳米测量技术的主要研究内容 ,着重阐述了其应用实例———一种光栅纳米测微仪的原理结构和实现方法。从系统的重复性、分辨力和准确度三方面入手 ,深入地研究和探索解决光栅纳米测量过程中的各种关键技术问题的方法和途径 ,能够有效地将光栅测量的分辨力和准确度从亚微米量级提高到纳米量级。