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光栅纳米测量技术及应用
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摘要
本文简要介绍了光栅纳米测量技术的主要研究内容 ,着重阐述了其应用实例———一种光栅纳米测微仪的原理结构和实现方法。从系统的重复性、分辨力和准确度三方面入手 ,深入地研究和探索解决光栅纳米测量过程中的各种关键技术问题的方法和途径 ,能够有效地将光栅测量的分辨力和准确度从亚微米量级提高到纳米量级。
作者
余文新
胡小唐
邹自强
机构地区
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
北京光电量仪研究中心
出处
《计量技术》
2001年第7期9-12,共4页
Measurement Technique
基金
天津市自然科学基金 (96360 981 1 )的资助
关键词
光栅
纳米测量
测微仪
重复性
分辨力
准确度
分类号
TH744 [机械工程—光学工程]
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