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镀层与氧化膜的内应力及其测定方法 被引量：3

Internal Stress of Electroplated Coating & Anodic Oxidation Film and the Measuring Methods
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摘要 综述了电镀层、阳极氧化膜、气相沉积多层膜和高温氧化膜等镀覆层中内应力产生的原因 ,介绍了内应力的测定方法 。 The causes for the internal stress formed in electroplated coaing, anodic oxidation film, physical vapor deposition multilayer film and high temperature oxidation film are overviewed; the internal stress measuring methods described; and the factors affecting internal stress analyzed.
作者 安茂忠 朱成勇 杨哲龙 张景双 屠振密
机构地区 哈尔滨工业大学应用化学系
出处 《电镀与环保》 CAS CSCD 2001年第6期1-7,共7页 Electroplating & Pollution Control
关键词 内应力 电镀 阳极氧化 气相沉积 高温氧化 镀层 氧化膜 测定方法 Internal stress Electroplating Anodic oxidation Vapor deposition High temperature oxidation
分类号 TQ153 [化学工程—电化学工业] TG174.451 [金属学及工艺—金属表面处理]
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引证文献3

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电镀与环保
2001年 第6期

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