摘要
本文从洁净室空调净化设计所采用的0.1μm无隔板超高效空气过滤器的性能、液槽密封装置、自动控制、防微振措施及测试效果等方面介绍了1级洁净室(美国联邦标准—209E对于0.1μm粒子,≤35.0粒/ft^3)在工程中的应用情况。
This paper introduces an engineering application of class 1 cleanrooms (notmore than 35.0 particles/ft3 of a size 0.1μm and larger, FDS-209E) , focusing at theaspects of performance of 0.1 μm ultra low penetration air filters ( ULPA forabbreviation) , flume sealing installation, autocontrol and effect of test.
出处
《洁净与空调技术》
2001年第3期25-28,35,共5页
Contamination Control & Air-Conditioning Technology
关键词
洁净室
设计
超高效过滤器
自动控制
Cleanroom design 0.1μmULPA Autocontrol Effect of test
