摘要
主要介绍投影光刻机工件台的压力 -真空平衡气足设计 ,对压力 -真空平衡气足的径向压力分布、最大刚度、最佳气膜间隙以及承载能力进行了分析 。
The design and calculation of the pressure-vacuum balance air-foot of positioning stage for wafer stepper are introduced.Its radial distribution of pressure,maximum rigidity,best air-film gap and loading capacity are analyzed.Optimum structure parameters of air-foot are given.
出处
《微细加工技术》
2001年第4期33-35,共3页
Microfabrication Technology
