PMMA在LIGA技术中的应用

Application of PMMA Resist in LIGA Technique

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摘要合成了用于LIGA微细加工技术的聚甲基丙烯酸甲酯抗蚀剂 ,采用同步辐射装置X射线深度曝光 ,可得到深宽比 4 5～ 90 ,深度大于 4 50微米 ,细线宽 5～ 1 The PMMA resist used in LIGA microfabrication is synthesized.The lithographic patterns with line width of 5～10μm,height of over 450μm and the aspect ratio of 45～90 are obtained by deep exposure using X ray from synchrotron radiation device.

作者陈永明伊福廷陈传福彭良强习复

机构地区中国科学院化学研究所中国科学院高能物理研究所

出处《微细加工技术》 2001年第4期36-38,43,共4页 Microfabrication Technology

基金国家基金委资助项目 (5 94 730 11)

关键词 LIGA技术集成电路微细加工技术光刻 LIGA technique resist PMMA deep exposure

分类号 TN405.7 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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参考文献4

1[1]Becker E W, Ehrfeld W, Hagmann P, et al. Fabrication of microstructures with high aspect rations and great structural heights by synchrotron radiation lithography, galvanoforming, and plastic moulding[J ]. Microelectronic Engineering, 1986,4:35.
2[2]Ehrfeld W,Bley P,Gtz F,et al. Progress in deep-etch synchrotron radiation lithography[J].J Vac Sci Technol, 1988,136( 1 ): 178.
3[3]Bley P,Bacher W,Menz W,et al. Description of microstructures in LIGA-technology[J]. Microelectronic En gineering, 1991,13:509.
4[4]El-Kholi A,Bley P,Gottert J,et al. Exanmination of the solubility and the noleeular weight distribution of PMMA in view of an optimised resist system in deep etch X-ray lithography[J]. Microelectronic Engineering, 1993,21:271.

1谢常青,叶甜春.上海第三代同步辐射装置及其在光刻和LIGA中的应用[J].半导体技术,2000,25(1):11-13.
2马平,杨春利,胡松,赵立新.新型URE-2000S型紫外单、双面深度光刻机研制[J].微纳电子技术,2005,42(8):388-391. 被引量：2
3合肥:同步辐射装置[J].中国地名,2009(11):74-74.
4谢常青,叶甜春.上海第三代同步辐射装置及其在微电子、微机械中的应用[J].科技导报,1999,17(6):36-38.
5晶体管、MOS器件[J].电子科技文摘,2001,0(2):18-23.
6王纳秀,朱毅,朱卫华,傅远,夏绍建.同步辐射晶体单色器晶体热应变的模拟与实验结果的比较[J].核技术,2006,29(5):326-328.
7杨宇峰,陆辉华,陈宛,贾启卡,孙舒晨,李志强.Development of a quasi-periodic undulator for the HLS[J].Chinese Physics C,2014,38(7):102-105.
8树华.空间相干的同步辐射X射线桌面源[J].物理,2011,40(3):183-183.
9创纪录高亮度高品质电子束[J].科学中国人,2016(12):10-10.
10超微细加工及设备[J].中国光学,1998(4):90-91.

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