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微电子技术的进展与挑战 被引量:2

Progress and Challenge of The Microelectronic Technology
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摘要 微电子技术自巴丁、布拉顿和肖克莱发明晶体管至今,经历了半个世纪的发展,已经取得巨大进步,成为人类社会众多领域的关键技术,从而有力地推动。 People have made great progress in the field of microelectronic technology with the develop ment forover fifty years after J. Bardeen , W . H. Brattain and W . B. Shockley invented transistor , because the mi croelectronic technology have beco me very im portant in m any fields of hu m an society . We will entirely enteran inform ation times under the develop ment of microelectronic technology .
出处 《世界科技研究与发展》 CSCD 1999年第4期31-38,共8页 World Sci-Tech R&D
基金 国防预研和国家自然科学基金项目
关键词 微电子技术 集成电路 纳米电子学 微机电系统 单芯片系统 研究方向 microelectronic technology , integrated circuit , nanoelectronics, microelectro mechanical systems( M E M S) , system on chip
  • 相关文献

参考文献4

二级参考文献43

  • 1林鸿溢.最子尺度结构薄膜的进展:纳米半导体薄膜[J].薄膜科学与技术,1994,7(3):234-241. 被引量:1
  • 2林鸿溢.a-Si:H簿膜的晶化与分形结构的形成[J].Journal of Semiconductors,1990,11(6):430-434. 被引量:9
  • 3侯建国,物理学报,1988年,37卷,1735页
  • 4黄立基,物理学报,1988年,37卷,1480页
  • 5黄均,Chin Phys Lett,1987年,8卷,361页
  • 6林鸿溢,材料研究学报,1987年,1卷,36页
  • 7林鸿溢,新技术与新工艺,1987年,2卷,2页
  • 8张人佶,物理学报,1986年,35卷,365页
  • 9林鸿溢,半导体学报,1995年
  • 10林鸿溢,科学中国人,1994年,3期,48页

共引文献30

同被引文献3

引证文献2

二级引证文献1

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