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二氧化钒薄膜的结构、制备与应用 被引量:15

STRUCTURE AND PREPARATION AND APPLICATION FOR VANADIUM DIOXIDE THIN FILMS
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摘要 综述了VO2 薄膜的结构特点、相变、制备工艺特性 ,以及薄膜研究、应用和开发现状 ,认为VO2 The micro_structure ,the phase transition,preparationand processing properties of VO 2 thin films are described.The pressent situation,development and application of VO 2thin film are given.There will be a good developing prospect in VO 2 thin film.
机构地区 兰州物理研究所
出处 《真空与低温》 2001年第3期136-138,共3页 Vacuum and Cryogenics
关键词 结构 制备 性能 相变 蒸发 溅射 应用 二氧化钒薄膜 脉冲激光沉积 溶胶-凝胶 thin film structure properties preparation application.
  • 相关文献

参考文献6

  • 1MORIN F J. Oxide which show a metal-insulator transition at the neel temperature[J]. Phys Review Letter, 1959,13(1):34.
  • 2RAMANA C V, HUSSAIN O M, NAIDU B S, et al. Spectroscopic characterization of electron-beam evaporated V2O5 thin film[J]. Thin Solid Film, 1997,305:219.
  • 3KUSANO K. Deposition of vanadium oxide films by direct-current magnetron reactive sputtering [J]. J Vac Sci Technol,1988,A6(3) :1663.
  • 4NAGASHIMA M, WADA H. Near infrared optical propertiese of laser ablated VOx thin films by ellipsometry[J]. Thin Solid Films, 1998,312: 61.
  • 5DEKI S, AOI Y, KAJINNAMI A. A novel wet process for the preparation of vanadium oxide thin[J]. Thin Solid Films,1997,305: 80.
  • 6尹大川,许念坎,刘正堂,张晶宇,郑修麟.VO_2薄膜的主要制备工艺参数研究[J].功能材料,1997,28(1):52-55. 被引量:28

二级参考文献2

  • 1尹大川,西北工业大学学报,1994年,10卷,147页
  • 2Hou L,Vac,1991年,42卷,1054页

共引文献27

同被引文献147

引证文献15

二级引证文献69

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