In_2O_3薄膜及纳米颗粒制备进展被引量：8

Advances in Preparation of In_2O_3 Thin Films and Nano-sized Particles

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摘要主要介绍了 In_2O_3薄膜及其纳米颗粒的制备方法和特点,并比较了它们的优缺点。 The preparation methods of In_2O_3 thin films and nano In_2O_3 particles and their characteristics are described in detail.Their advantages and disadvantages are also discussed in this paper.

作者王廷富潘庆谊程知萱

机构地区上海大学理学院

出处《材料导报》 EI CAS CSCD 2001年第8期45-47,共3页 Materials Reports

关键词制备三氧化二铟薄膜纳米颗粒制备真空热蒸镀法原子层取向生长法化学气相沉积液溅射法 preparation indium oxide thin films nanosize particles

分类号 TB383 [一般工业技术—材料科学与工程] TB43 [一般工业技术]

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