摘要
介绍了二元光学的产生和发展，着重阐述了二元光学元件之一的微透镜的设计、制作和测试方法以及它们的主要应用。
This dissertation mainly describes the origin and the development of binary optics. It expatiates on one of elements of binary optics theory:the microlenses and its design, manufacture, testing method, even its primary application.
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2001年第11期74-76,共3页
Semiconductor Technology
基金
国家高技术研究发展计划资助项目
国家自然科学基金资助项目(60086003)
关键词
二元光学元件
微透镜
衍射效率
点扩散函数
蚀刻
binary optics
microlenses
diffractive efficiency
point spread function
etching
