摘要
阐述微型机械电子系统的概念与内涵 ,详细地分析了微型机械电子系统的研究方向和发展趋势 ,为今后深入研究该领域的课题提供了依据。
The concept and the intension of MEMS are expounded,and the research direction and development trend of MEMS are particularly analyzed in the paper.The basis is provided for thorough study this domain task in the future.
出处
《煤矿机械》
北大核心
2001年第11期1-4,共4页
Coal Mine Machinery
关键词
微型机械电子系统
微结构
微细加工
微米技术
纳米技术
尺寸效应
MEMS(Micro Electro Mechanical System)
micro_nanometer technology
micro_structure
micro mechanical machining
