用于光网络的MEMS技术

互联网的爆炸式发展使得对宽带通信的需求急剧增加。这种需求只能通过光网络来满足,因此导致人们对光学微机电系统产生了空前的研究兴趣。从光纤光学研究的早期开始,人们就已经意识到微光学是MEMS的一个具有广阔应用的领域。在光网络中应用中,包括光开光、可变衰减器、可调激光器和其他器件,以MEMS为基础的产品具有明显的价格和性能上的优势。本文综述了用于光网络的几种类型的MEMS技术。