硅整流元件的纸源扩散工艺及应用

纸源扩散由于工艺简单,周期短,成品率高,节约工艺费用的优点,在大功率硅整流元件的生产中获得了广泛地应用。本文通过应用实例对该工艺的相应优势进行分析。